ダイシング加工
半導体シリコンの微細加工ほか、セラミック・光学ガラス・ガラエポ基板・特殊素材(貼り合せ)のダイシング加工を行います。
切断技術
| ストレート | ステップ | 上面ベベル | 両面ベベル | 多段カット | |
|---|---|---|---|---|---|
| 断面図 | |||||
| シリコン | ● | ● | ● | ● | ● |
| ガラエポ基板 | ● | ● | ● | ● | ● |
| ガラス | ● | ● | ● | ● | ● |
| セラミック | ● | ● | ● | ● | ● |
| 他 | ● | ● | ● | ● | ● |
比較(出来栄え)
| 汚れ | ● | ● | ● | ● | - |
| 異物 | ● | ● | ● | ● | - |
| 表面チッピング | ● | ● | ● | ● | - |
| 裏面チッピング | ● | ● | ● | ● | - |
| クラック | ● | ● | ● | ● | - |
| 特徴 | 低コスト 短TAT 表裏チッピング (5~30μm) |
精密溝入れ (幅~25μm) 表裏チッピングの抑制 (1~10μm) |
切断面のカケ抑制 表裏チッピングの抑制 (0~5μm) |
切断面のカケ抑制 浮遊異物の抑制 表裏チッピングの抑制 (0~5μm) |
異なる材質の多層構造 ※各層で砥石(ブレード)を変更 |
| 用途 | 加工全般 Si ガラエポ ラミネート |
汎用、産業用半導体 Si 炭化珪素 サファイア |
コート付ガラス ブルーガラス Si Si(スペーサー) |
多層膜ガラス ブルーガラス Si(スペーサー) |
貼り合せ基板 複合多層基板 |
● ・・・サンテック特殊技術