保有設備
主要装置一覧
平成23年4月現在
| 装置名 | 型式 | 保有台数 | 備考 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 超純水製造装置 | NMS2500 | 野村マイクロサイエンス | 1 | 2.5m3／h |
| 2 | 超純水製造装置 | NMS3000 | 野村マイクロサイエンス | 1 | 3.0m3／h |
| 3 | CO2スーパーパプラー | NDB-4 | 野村マイクロサイエンス | 3 | |
| 4 | CO2スーパーパプラー | NDB-3 | 野村マイクロサイエンス | 1 | |
| 5 | ダイサー（2スピンドル） | DFD651 | ディスコ | 5 | 8インチ対応 |
| 6 | ダイサー（対向式） | DFD6340 | ディスコ | 4 | ＩＲカメラ搭載WCSP素材対応可 |
| 7 | ダイサー | DAD3350 | ディスコ | 1 | 12インチ対応 |
| 8 | 裏面研削機 | DAG810 | ディスコ | 2 | マニュアルＢＧ 50μ対応可 |
| 9 | ポリッシング装置 | GP-200 | ケメットー・Ｊ | 1 | 8インチ 50μ対応可 |
| 10 | テープ貼付機 | ATM-8200 | タカトリ | 2 | フルオートウエハマウンタ |
| 11 | テープ貼付機 | HTM-16M | マクゾーン | 2 | 12インチ対応 |
| 12 | テープ貼付機 | HTM-08M | マクゾーン | 2 | 6インチ対応 |
| 13 | テープ貼付機 | M-286 | 日東精機 | 2 | セミオートウエハマウンタ |
| 14 | テープ貼付機 | M-285 | 日東精機 | 2 | 6インチ対応 |
| 15 | テープ貼付機 | MTP-8NZ001 | トーヨーアドテック | 2 | ＤＡＦテープ対応可能 |
| 16 | ＵＶ照射機 | UM-810 | 日東精機 | 1 | 8インチ対応 |
| 17 | ＵＶ照射機 | PNC300 | コスモ技研 | 1 | 8インチ対応 |
| 18 | ＵＶ照射機 | UCM-16M | マクゾーン | 1 | 12インチ対応 |
| 19 | ＵＶ照射機 | PNC-300L | コスモ技研 | 1 | フルオート |
| 20 | ウエハ洗浄機 | WJS-300B | エムテック | 1 | 12インチ対応 |
| 21 | ウエハ洗浄機 | WJS-200B | エムテック | 1 | 8インチ対応 |
| 22 | トレイ洗浄機 | TBW-125B | エムテック | 1 | 2インチ及び3インチトレー共用 |
| 23 | チップソーティングテスタ | CST-200W | 北野製作所 | 2 | 小チップ対応 |
| 24 | 自動治具詰機 | WCS-1200C | エムテック | 1 | 12インチ対応 |
| 25 | 自動治具詰機 | WC-SM-500 | エムテック | 8 | 6インチ対応（チップ分類可能） |
| 26 | 自動治具詰機 | WCS-800 | エムテック | 6 | 8インチ対応（チップ分類可能） |
| 27 | 自動治具詰機 | WCS-700 | エムテック | 2 | 8インチ対応 |
| 28 | 自動治具詰機 | SCH-110 | 日立ハイテクノロジーズ | 1 | 8インチ対応 |
| 29 | 真空梱包機 | V-304G | 東静電気 | 1 | |
| 30 | 真空梱包機 | V-480 | 東静電気 | 1 | 8インチ対応 |
| 31 | 金属顕微鏡 | X6M-33MPD | オリンパス | 16 | |
| 32 | 実体顕微鏡 | SZ61 | オリンパス | 25 | |
| 33 | 測定顕微鏡 | STM6 | オリンパス | 1 | |
| 34 | ウエハ検査顕微鏡 | MX50A873MD-D | オリンパス | 1 | 8インチ対応 |
| 35 | 厚さ測定器 | エムテック | 1 | ||
| 36 | 粗さ測定器 | サーフコム480A | 東京精密 | 1 | |
| 37 | バーティクルカウンター | KR-12A | 1 | ||
| 38 | テープ拡張機 | EXM-06M | マクゾーン | 1 | 6インチ対応 |
| 39 | ダイボンディング装置 | WC-SM-2600 | エムテック | 3 | |
| 40 | キュア炉 | IPHH-201 | ESPEC | 1 | |
| 41 | キュア炉 | ST-120 | ESPEC | 1 | |
| 42 | テープ貼付機 | HTM-12M | マクゾーン | 2 | 8インチ対応 |