第4回 革新的事業展開設備投資支援事業助成金の決定 2019年3月27日 助成金の内容 12㌅ウェハ対応研磨装置導入による生産性向上と競争力強化 詳しくは「公益財団法人東京都中小企業振興公社」ホームページにて